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靜電消除器/靜電消散設備 Accurax Ionizer

半導體或電子生技等相關產業對於靜電造成的良率破壞,提供消除靜電之解決方案,符合美國防靜電協會所頒ESD20.20/IEC所要求之規範

如不知該如何選擇合適的靜電消除棒,請告知本司貴司應用範圍及環境,或是有特殊要求,本司會建議您適合的產品,靜電消散設備測試方法及相關規範請參考本頁下方

靜電消散設備（Ionizer，通常稱為離子風機或離子棒）的主要功能是產生正負離子，中和工作區域或物體表面上的靜電電荷。由於離子風機的性能直接影響靜電中和的效果，因此對其進行測試和校準至關重要。

以下是離子風機的測試方法和相關標準：

離子風機測試方法：

離子風機的主要性能指標是其電荷衰減時間 (Charge Decay Time) 和離子平衡度 (Offset Voltage / Ion Balance)。

一.電荷衰減時間 (Charge Decay Time)：

1.將電荷板監測器置於離子風機的有效工作範圍內,Ex: 30cm。

2.對電荷板預先充電至一個設定電壓（例如，+/-1000V）。

3.開啟離子風機，測量電荷板電壓從預設值衰減到另一個設定值（例如，+/-100V所需的時間。

4.記錄正電荷和負電荷的衰減時間。衰減時間越短，表示離子風機中和靜電的速度越快。

靜電消散時間及離子平衡測試示意圖

二.離子平衡度 / 殘餘電壓 (Ion Balance / Offset Voltage, Vo)：

1.將電荷板監測器置於離子風機的有效工作範圍內。

2.關閉電荷板的充電功能，讓離子風機持續運行。

3.電荷板上能感應到微小的正負離子流，並最終穩定在一個接近零的電壓值。這個穩定電壓值就是離子平衡度或殘餘電壓。

4.理想情況下，離子平衡度應盡可能接近 0V。標準通常要求在 ±35V 或 ±20V 以內。

靜電消散時間及離子平衡測試示意圖

相關國際標準：

以下是評估離子風機性能的主要國際標準：

ANSI/ESD STM3.1-2015 (或最新版本) - ESD Association Standard Test Method for the Protection of Electrostatic Discharge Susceptible Items - Ionization:
1. 1. 內容：這是評估離子風機性能最核心和最廣泛使用的標準。它詳細規定了電荷衰減時間和離子平衡度的測試方法、儀器要求以及數據報告格式。
  2. 主要參數：
    1. 衰減時間 (Decay Time)：測量從 ±1000V 衰減到 ±100V 所需的時間。標準對此沒有絕對的要求，但會給出不同應用場景下的建議值（例如，電子製造環境通常要求在幾秒內）。
    2. 離子平衡度 (Offset Voltage, Vo)：測量離子風機關閉充電功能後的殘餘電壓。通常要求 Vo 小於 ±35V。對於一些敏感應用，可能要求小於 ±20V 或 ±10V。
IEC 61340-4-7 (或最新版本) - Electrostatics - Part 4-7: Standard test methods for special applications - Ionization:
1. 1. 內容：這是國際電工委員會 (IEC) 發布的離子風機測試標準，與 ESD STM3.1 在內容上有較多相似之處，但也可能在具體測試參數和方法上有所不同。
  2. 主要參數：同樣關注電荷衰減時間和離子平衡度。
Semi S20 - Safety Guideline for Ion Implanters (適用於半導體設備)：
1. 1. 內容：雖然主要是一個安全指南，但其中也包含了對離子風機性能和監測的要求，特別是在半導體製造過程中。

測試頻率和校準：

定期測試：離子風機的性能會隨著時間、環境條件（如灰塵積聚）和電極針的磨損而下降。因此，建議根據標準或製造商的建議，定期對離子風機進行測試和校準，例如每月或每季度一次。
校準：離子風機在長期使用後，其離子輸出平衡可能會漂移，衰減時間也會變長。定期使用電荷板監測器進行校準，調整離子風機的參數，使其恢復到最佳工作狀態。
清潔：定期清潔離子風機的發射針和外殼，去除灰塵和污染物，可以有效延長其使用壽命並保持性能。

總之，ESD STM3.1 是離子風機測試最權威和常用的標準。通過嚴格遵循這些測試方法和標準，可以確保離子風機在控制靜電方面發揮最佳作用，從而保護敏感電子元件免受ESD損害。

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