規格:

• 用於測量和監視高階無塵室或無塵設備之微塵粒子的數量

• 2個尺寸通道 (0.1, 0.3um)

• 由內置泵控制流速,可準確量測微塵粒子的集中量.

• (0.1CFM/2.83 L/min )

• 內附PC軟體,可即時監測無塵室或超潔淨無塵室環境(ISO Class 1/Fed 209E Class 10)

• 可量測小至 0.1 um 的微塵粒子

• 4.3"彩色觸控螢幕

• 備有高效率的資料存儲的能力

• 含網路及USB連結

• Compliant with JIS B9921 and ISO 21501-4

• 適用於高階無塵室ISO Class 1/Fed 209E Class 10及半導體設備內之particle監控