產品概述 :
本產品採用工業級粒子計數感測器結合嵌入式設計,整合了溫濕度、PID 流量控制、工業級觸摸螢 幕、標配 RS485/RJ45 和選配無線通訊技術,以多種方式精確輸出 0.3、0.5、1.0、2.5/(3.0)、5、10um 六個通道的 微粒子數量,支援資料儲存、報警及遠端升級。
應用領域:半導體生產、鋰電池製造、生物製藥、電子潔淨室等。 符合標準:ISO 21504-1 /JJF1190-2008 微塵粒子計數器校準規範。
產品特點:
a.高清液晶觸控式螢幕+設備指示燈+支援外接報警燈
b.內置專屬定制 Pump,流量穩定壽命長;
c.內置超音波流量計和 PID 流量調節演算法,確保持久恒流 2.83L/MIN 採樣;
d.標配 RS485+RJ45 網路通信,可定制化配置 WIFI 或 Lora;
e.預留介面支援外接溫濕度、露點、風速等感測器;
f.設備支援遠端升級,無須繁瑣拆機
系統相容性
支援 Modbus TCP / RTU 訊號輸出,輕鬆整合廠務監控系統 (SCADA/FMS)。
體積輕巧,適合安裝於半導體設備機台 (EFEM) 內部。
提供 0.3μm 至 10.0μm 不同靈敏度規格選擇。
規格:
3888:3個尺寸通道 (0.3/0.5/5.0 µm)
由內置泵控制流速, 可準確量測微塵粒子的集中量. (0.1 CFM )
可量測小至 0.3 um 的微塵粒子
備有高效率的資料存儲的能力 (10000個樣本紀錄)
掌上型輕巧儀器, 方便攜帶 (儀器重量 650g, 不含電池重)
簡潔的用戶介面
通過ISO 21501-4/JIS B9921標準
提供中英日文介面
通訊功能(選配):
有線網路/Wifi/RS485
規格:
3889:6個尺寸通道 (0.3/ 0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm)
可用一台儀器同測量和監視微塵粒子的集中量, 相對溼度, 溫度(3889 option)
可選購溫度及溼度之SENSOR
由內置泵控制流速, 可準確量測微塵粒子的集中量. (0.1 CFM )
可量測小至 0.3 um 的微塵粒子
備有高效率的資料存儲的能力 (10000個樣本紀錄)
掌上型輕巧儀器, 方便攜帶 (儀器重量 650g, 不含電池重)
簡潔的用戶介面
通過ISO 21501-4/JIS B9921標準
提供中英日文介面
通訊功能(選配):
有線網路/Wifi/RS485