無塵室微粒子傳感器 (CleanRoom Particle Sensor / CleanRoom Particle Counter ) 

• 產品名稱:雷射微粒子傳感器 / Model: Accurax AeroCount 3706

產品概述 :

本產品採用工業級粒子計數感測器結合嵌入式設計，整合了溫濕度、PID 流量控制、工業級觸摸螢 幕、標配 RS485/RJ45 和選配無線通訊技術，以多種方式精確輸出 0.3、0.5、1.0、2.5、5、10um 六個通道的 微粒子數量，支援資料儲存、報警及遠端升級。 

應用領域：半導體生產、鋰電池製造、生物製藥、電子潔淨室等。 符合標準：ISO 21504-1 /JJF1190-2008 微塵粒子計數器校準規範。 

產品特點:

 a.高清液晶觸控式螢幕+設備指示燈+支援外接報警燈 

b.內置專屬定制 Pump，流量穩定壽命長； 

c.內置超音波流量計和 PID 流量調節演算法，確保持久恒流 2.83L/MIN 採樣； 

d.標配 RS485+RJ45 網路通信，可定制化配置 WIFI 或 Lora； 

e.預留介面支援外接溫濕度、露點、風速等感測器； 

f.設備支援遠端升級，無須繁瑣拆機

系統相容性

• 支援 Modbus TCP / RTU 訊號輸出，輕鬆整合廠務監控系統 (SCADA/FMS)。

• 體積輕巧，適合安裝於半導體設備機台 (EFEM) 內部。

• 提供 0.3μm 至 10.0μm 不同靈敏度規格選擇。

無塵室微粒子傳感器 (CleanRoom Particle Sensor) 

• 產品名稱:雷射微粒子傳感器

• Model:Kanomax 3720

• Particle Size Distribution:0.5μm、5.0μm / Customizable in two 2 or 4 CH from 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μ, 3.0μm, 5.0μｍ, 10.0μm 

• Rate Flow:28.3 L/min （1 CFM） 

• Optical Source:雷射二極體

• Counting Efficiency:符合Compliant with ISO21501-4、JIS B 9921 

• Max Detectable Concentration:1000,000 CNT/f t3 

• Pump:內建pump

• 通訊方式:Ethernet, RS485, Analog Output(4-20mA)

• 通訊介面:Modbus (TCP/IP), Modbus (RTU) 

• 數據儲存:>5000筆資料

• 電源供應:

1.) DC Power Supply DC 15 V～28 V　 

2.) AC Adapter AC100～240 V (50～60 Hz) 、DC 24V 

3.) PoE ++ 

• Operational Environment:10～30 ℃, 20～85%RH（Non-Condensing）

• Storing Environment:10～50 ℃, 20～95%RH or less （Non-Condensing）

• Dimension & Weight:135（W）× 100（D）× 85（H） mm / Approx. 4kg

• Standard Accessories:Userʼs Manual, AC Adapter, Zero Filter, Tygon Tube