在線式監控才能確保「產線安全」。弘承科技為您導入全球頂尖微塵感測方案,讓品質管理從「被動抽檢」提升至「主動預防」。
數位化 FMS 串接: 透過數據通訊,將微塵數值即時連動至中控室,實現遠端全天候監控。
符合國際標準: 完全符合 ISO 14644-1 標準及 FDA 21 CFR Part 11 規範,數據具備高度公信力。
精準粒徑分析: 提供 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm 等多種粒徑選型,精準捕捉影響良率的關鍵因子。
長效穩定光源: 採用高穩定度激光二極體,減少校正頻率,確保 FMS 系統接收到的每一筆數據皆精準可靠。
穩定就是良率。立即將您的潔淨室升級為全時數位化監測環境。
產品概述 :
本產品採用工業級粒子計數感測器結合嵌入式設計,整合了溫濕度、PID 流量控制、工業級觸摸螢 幕、標配 RS485/RJ45 和選配無線通訊技術,以多種方式精確輸出 0.3、0.5、1.0、2.5、5、10um 六個通道的 微粒子數量,支援資料儲存、報警及遠端升級。
應用領域:半導體生產、鋰電池製造、生物製藥、電子潔淨室等。 符合標準:ISO 21504-1 /JJF1190-2008 微塵粒子計數器校準規範。
產品特點:
a.高清液晶觸控式螢幕+設備指示燈+支援外接報警燈
b.內置專屬定制 Pump,流量穩定壽命長;
c.內置超音波流量計和 PID 流量調節演算法,確保持久恒流 2.83L/MIN 採樣;
d.標配 RS485+RJ45 網路通信,可定制化配置 WIFI 或 Lora;
e.預留介面支援外接溫濕度、露點、風速等感測器;
f.設備支援遠端升級,無須繁瑣拆機
系統相容性
支援 Modbus TCP / RTU 訊號輸出,輕鬆整合廠務監控系統 (SCADA/FMS)。
體積輕巧,適合安裝於半導體設備機台 (EFEM) 內部。
提供 0.3μm 至 10.0μm 不同靈敏度規格選擇。
產品名稱:雷射微粒子傳感器
Model:Kanomax 3720
Particle Size Distribution:0.5μm、5.0μm / Customizable in two 2 or 4 CH from 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μ, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm
Rate Flow:28.3 L/min (1 CFM)
Optical Source:雷射二極體
Counting Efficiency:符合Compliant with ISO21501-4、JIS B 9921
Max Detectable Concentration:1000,000 CNT/f t3
Pump:內建pump
通訊方式:Ethernet, RS485, Analog Output(4-20mA)
通訊介面:Modbus (TCP/IP), Modbus (RTU)
數據儲存:>5000筆資料
電源供應:
1.) DC Power Supply DC 15 V~28 V
2.) AC Adapter AC100~240 V (50~60 Hz) 、DC 24V
3.) PoE ++
Operational Environment:10~30 ℃, 20~85%RH(Non-Condensing)
Storing Environment:10~50 ℃, 20~95%RH or less (Non-Condensing)
Dimension & Weight:135(W)× 100(D)× 85(H) mm / Approx. 4kg
Standard Accessories:Userʼs Manual, AC Adapter, Zero Filter, Tygon Tube