ESD靜電及微塵監控系統

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可選擇RS-485有線連接或是無線LoRa系統,

Lora與Wifi差異:

免除斷線焦慮：無塵室內充斥著大量的金屬機台與不鏽鋼隔板，Wi-Fi（2.4GHz / 5GHz）的高頻訊號非常容易被金屬反射、屏蔽而斷線。LoRa 採用的是低頻次微米波（Sub-GHz），繞射能力與穿透力遠高於 Wi-Fi，訊號更穩定。
簡化佈線施工：使用內建 LoRa 模組的靜電監控儀（如 S901W/ GSM005），現場完全不需要拉任何訊號線，只要插上電源，數據就會自動無線傳回中控室。這可以讓無塵室施工費用與複雜度再次大幅降低。

ESD靜電及微塵監控系統

特點:

1.安裝在伺服器PC後可經由遠端網頁登入,即時查看設備狀況(需在同一網域)

2.可由軟體遠端控制儀器參數,可禁止現場操作人員關閉離子風扇開關或任意調整風扇風量大小

3.視覺化:

監控設備:

1.靜電設備的功能：

2.無塵室環境監控功能:

無塵室微粒子監控,使用Accurax 3706 Particle Sensor可即時監控無塵室等級,同時監控0.3/0.5/1.0/2.5/5.0/10.0六個通道的微粒子
溫溼度紀錄表,使用Accurax Aura 101即時監控溫濕度計並顯示在螢幕

桌墊接地監控

靜電和微塵對於電子/生化/半導體產業的生產良率和工安都有很大的影響

靜電放電 (ESD) 的影響：
- 損壞元件：現代積體電路 (IC) 尺寸不斷縮小，對靜電非常敏感。即使是微小的靜電放電事件，也可能對敏感元件（如電晶體、微晶片）造成永久性損壞，導致短路、功能退化或直接報廢。
- 降低良率： ESD 損壞可能使整個晶圓批次或產品批次報廢，導致巨大的生產良率損失和財務損失。
- 即時監控的重要性：實時 ESD 監控能確保所有設備正常運行且功能良好,並優化 ESD 控制流程。
微塵（粒子）的影響：
- 造成缺陷：在積體電路 (IC) 製作過程中，任何微小的空氣或製程粒子都可能沉積在晶圓上，導致電路短路、開路或圖形缺陷，是良率損失的主要原因之一。
- 污染關鍵製程：特別是在極度潔淨的無塵室 (Cleanroom) 環境中，連續且實時的粒子監控（使用粒子計數器）對於確保環境潔淨度、驗證過濾系統和識別污染源頭至關重要。
- 優化製程：通過分析粒子趨勢和歷史數據，製造商可以進行根本原因分析，優化設備和操作程序，降低粒子產生，從而提高產品品質和穩定性。

靜電放電 (ESD) 的影響：
- 安全風險：在處理易燃或揮發性化學物質的環境中，ESD 可能產生火花，引發爆炸或火災的嚴重安全風險。
- 污染風險：靜電會吸附空氣中的微塵和微生物粒子，可能污染無菌製程或敏感實驗，影響藥物、疫苗或醫療設備的品質和安全性。
微塵（粒子）的影響：
- 產品污染：嚴格控制微塵是生化和製藥無塵室的核心要求（例如 GMP 法規）。粒子污染可能影響藥物或生物製品的純度、效價和無菌性，導致產品不合格或需要召回。
- 法規遵循：粒子監控數據是證明生產環境符合國際和地方監管要求（如 FDA、ICH）的關鍵文件。

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