ESD靜電及微塵監控系統

ESD 無塵室微塵連續監控系統 (FMS) | 自動化環境偵測方案 

 ESD靜電及微塵監控系統

靜電和微塵對於電子/生化/半導體產業的生產良率和工安都有很大的影響

1. 半導體和電子產業 (Semiconductor & Electronics)

• 靜電放電 (ESD) 的影響：

  • 損壞元件： 現代積體電路 (IC) 尺寸不斷縮小，對靜電非常敏感。即使是微小的靜電放電事件，也可能對敏感元件（如電晶體、微晶片）造成永久性損壞，導致短路、功能退化或直接報廢。

  • 降低良率： ESD 損壞可能使整個晶圓批次或產品批次報廢，導致巨大的生產良率損失和財務損失。

  • 即時監控的重要性： 實時 ESD 監控能確保所有設備正常運行且功能良好,並優化 ESD 控制流程。

• 微塵（粒子）的影響：

  • 造成缺陷： 在積體電路 (IC) 製作過程中，任何微小的空氣或製程粒子都可能沉積在晶圓上，導致電路短路、開路或圖形缺陷，是良率損失的主要原因之一。

  • 污染關鍵製程： 特別是在極度潔淨的無塵室 (Cleanroom) 環境中，連續且實時的粒子監控（使用粒子計數器）對於確保環境潔淨度、驗證過濾系統和識別污染源頭至關重要。

  • 優化製程： 通過分析粒子趨勢和歷史數據，製造商可以進行根本原因分析，優化設備和操作程序，降低粒子產生，從而提高產品品質和穩定性。

2. 生化/醫藥產業 (Biotechnology/Pharmaceuticals)

• 靜電放電 (ESD) 的影響：

  • 安全風險： 在處理易燃或揮發性化學物質的環境中，ESD 可能產生火花，引發爆炸或火災的嚴重安全風險。

  • 污染風險： 靜電會吸附空氣中的微塵和微生物粒子，可能污染無菌製程或敏感實驗，影響藥物、疫苗或醫療設備的品質和安全性。

• 微塵（粒子）的影響：

  • 產品污染： 嚴格控制微塵是生化和製藥無塵室的核心要求（例如 GMP 法規）。粒子污染可能影響藥物或生物製品的純度、效價和無菌性，導致產品不合格或需要召回。

  • 法規遵循： 粒子監控數據是證明生產環境符合國際和地方監管要求（如 FDA、ICH）的關鍵文件。