充電式晶圓真空吸筆  Battery Powered Wafer Handling Tools

充電式晶圓吸筆 (Rechargeable Wafer Vacuum Wand)。

這款產品是專為 半導體晶圓 (Wafer) 搬運 量身打造的高階設備。它不只是普通的吸筆，而是一個精密、主動式的真空拾取系統。

1. 產品核心特點與優勢

• 專為晶圓設計 (Wafer-Specific Design)： 前端搭配長條型或大面積的專用吸頭，能夠穩固吸附 4吋、6吋、8吋甚至是12吋的晶圓。其接觸面設計能最大程度減少對晶圓表面的壓力，保護精密電路。

• 充電式動力，持續高負壓： 內建高容量鋰電池與強力的微型真空幫浦。相比手動或電池式，它能提供更強大且長時間穩定的真空吸力，徹底杜絕在搬運昂貴晶圓時因吸力不足導致的墜落風險。

• 最高等級 ESD 靜電防護： 作為晶圓廠專用工具，其全機身與吸頭均符合嚴苛的 ESD 靜電安全規範。材料能迅速且受控地耗散電荷，防止在拾取過程中產生瞬間放電（ESD）損毀晶圓上的微細電路。

• 無線作業與指示燈系統： 擺脫氣壓管線束縛，作業員能自由走動。機身上通常配有 LED 指示燈，即時顯示電池電量與真空壓力狀態，讓操作者能隨時掌握拾取安全度。

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